一、项目名称：X射线光电子能谱仪

二、招标编号：S2021079

三、招标人：苏州大学采购与招投标管理中心

地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904室

邮编：215021传真：0512-67165076

联系人：丁老师电话：0512-67504198，67504359

电子邮箱：dingy@suda.edu.cn

技术联系人：陆老师电话：0512-67060362，13862555076

电子邮箱：luxinhua@suda.edu.cn

四、招标货物品名、数量及主要性能参数要求

X射线光电子能谱仪1套

（一）主要技术参数要求

1.真空系统

1.1分析室：真空度应≤5.0×10-10mbar；

1.2分析室真空泵：独立的机械泵、分子涡轮泵及钛升华泵组合；

1.3进样及样品处理室：真空度应≤7.0×10-9mbar；

1.4进样及样品处理室真空泵：配备独立涡轮分子泵和机械泵；

1.5进样系统配置磁浮式无摩擦进样杆，确保互联反应系统的传样效率和稳定性；

1.6超高真空监测装置：配置超高真空阴极离子规一套。

2.多功能样品停放台

2.1五轴样品台，即X、Y、Z移动，倾斜及旋转；移动精度≤1μm，倾斜精度≤1º；

2.2软件控制变焦CCD摄像机在不同的放大倍率下实时观察、精确定位和截取图像；通过实时成像系统确定分析位置，自动确定最佳分析高度；

2.3进样室带有多层样品停放台，每次至少放置三个样品台；

2.4提供多种类使用的样品条，包括组合型样品条、双高度样品条和旋转样品条等。

3.单色化X射线源

3.1射线源类型：单色化AlKαX射线源，电子束具备聚焦功能；

3.2X射线源-源束斑尺寸在200～900μm之间多档可调；

3.3单色化光源阳极靶可移动，在阳极靶更换前应可提供多个工作点使用；

*3.4最佳能量分辨率：对Ag3d5/2峰，半高宽应优于0.45eV；

3.5常规能量分辨率和灵敏度：当光源功率≤300W时，对Ag3d5/2峰，半高宽≤1.0eV时，灵敏度≥4000kcps。

4.能量分析器

*4.1能量分析器：能量扫描范围满足0～3200eV，确保多功能分析时无需切换分析器；

4.2通过能范围：1～400eV，可连续调节，最小调节步长≤1eV；

4.3分析模式：固定分析器能量(CAE)和固定减速比(CRR)两种模式，CAE模式下20meV至8eV可调，CRR模式下0.02%至2.0%可调，能量分辨率优于0.05%；

4.4配置磁透镜模式及静电透镜模式，具有ISS分析功能；

5．检测器

5.1结构：包含采谱及成像两个独立检测器，分别针对XPS采谱和XPS成像优化；

5.2采谱检测器：多通道光电倍增器；单个通道损害后支持单独维修，不需要整体更换；

5.3成像检测器：由256×256通道板和二维连续位置检测器构成；具有平行成像功能，对边缘锐利的刃口样品线扫描的最佳空间分辨率≤1μm。

6.电荷中和系统

6.1结构组成：配置同轴中和源及离轴中和源两个中和源，离轴中和源须具有低能电子和低能离子双重中和功能；

*6.2能量分辨率和灵敏度：对PET绝缘样品，O-C=O的C1s峰半高全宽@C-C/C-H的C1s峰强度至少满足：0.68eV@20kcps、0.82eV@60kcps。

7.离子枪

7.1离子源类型：配置单Ar原子和团簇Ar双模式；

7.2可使用气体：Ar/Ar团簇（XPS深度剖析）/He（离子散射谱，ISS）

7.3单Ar离子能量≥0.5～4.0keV；团簇Ar离子能量≥2.0～8.0keV；团簇Ar离子团簇数目≥75～2,000；单个团簇Ar离子能量范围≥1～100eV。

8.紫外光电子能谱分析UPS

8.1光源：He紫外光源；

8.2最佳能量分辨率和灵敏度：对Ag费米边，能量分辨率≤100meV时；灵敏度（Ag4d）≥1,000,000cps；

8.3配有满足绝缘样品UPS分析时荷电中和需要的离子束中和源，可在静电模式下对样品进行有效荷电中和。

9.离子散射谱ISS

能量分辨率和灵敏度：1keVHe离子作用于清洁金表面，能量分辨≤12eV时，灵敏度应≥25,000cps/nA；

10.反射电子能量损失谱装置（REELS）

10.1配有与传输透镜同轴的高能电子枪，可做反射电子能量损失谱REELS分析，满足对有机物中氢元素的定性定量分析需求；

10.2能量分辨和灵敏度：对于干净的银样品，能量分辨率≤0.5eV时，其灵敏度≥1000kcps。

11.角分辨XPS功能

11.1角分辨XPS用精控步进马达样品托，角度分辨优于1°；

11.2内置角分辨XPS数据处理功能，并能实现膜厚计算等功能。

12.谱仪控制和数据处理

12.1谱仪控制软件：谱仪参数设置，系统软件实现可视化操作；分析部件均可通过系统软件控制；系统软件具备可视化操作界面，实现对真空泵、阀门、真空规、离子枪、中和枪以及加热冷却等的控制；所有进气阀门均可通过软件控制，实现自动化开启和关闭；系统软件内置真空安全互锁控制模块，可有效禁止真空设备的误操作；样品台移动可通过鼠标操作实时光学像实现，具有可视化操作界面；

12.2处理软件：系统计算机预装数据采集和处理软件包。数据处理方法：定性分析、定量分析、曲线拟合等，需具备SMART本底扣除方法；

12.3数据库：包括完整的REELS和ISS数据库；ARXPS角分辨处理软件、超薄多层膜拟合模块；全套XPS标准数据图库以及化合物结构鉴定数据库；实验数据（原始数据及分析结果）可存为通用格式，能导入MicrosoftOffice软件，软件的数据处理部分可在其他计算机上安装使用。软件介质：以安装光盘形式提供。

13.附件、备件及辅助设备

13.1随系统配备的真空烘烤系统；

13.2与以上所有系统相关联的电子装置及控制柜；

13.3配置标准主机消耗品备件包，包括以下内容：内中和枪灯丝1套，高能中和枪灯丝1套，低能离子/电子枪灯丝组件1套，X射线阳极1套，机械泵油4升，升华泵灯丝6根，循环水滤芯2个，离子枪灯丝2套，离子枪喷嘴1个，密封圈组件1套；

13.4循环冷却水系统：品牌循环冷却系统，满足阳极靶、涡轮分子泵和石英单色器冷却需要；

13.5不间断电源系统：配备进口隔离变压器的稳压不间断电源一套，保证仪器可持续运行2小时。

（二）主要配置要求

1X射线光电子能谱仪主机1套

2传输透镜和能量分析系统1套

3分析室样品台系统1套

4进样室样品台系统1套

5真空系统1套

6单色器和X射线源1套

7离子枪1套

8控制与数据系统1套

9辅助系统（循环水、增压泵、不夹断电源等）1套

10紫外光电子能谱套件1套

11离子散射谱套件1套

12反射电子能量损失谱装置1套

（三）质保期不少于1年

五、评分标准

本次招标采用综合评分法，总分为100分，具体内容如下：

（一）技术参数、配置及整体综合性能分（50分）

1．技术参数及配置（35分）

投标人需提供反映该产品技术参数的技术支持资料（测试报告或产品说明书）等作为评标依据，否则视为偏离。

（1）所投产品不满足招标文件标注“*”技术条款要求的（偏离）、配置不详、技术参数不清或缺漏项的，经评标委员会评审可作为无效投标。

（2）所投产品不满足招标文件未标注“*”技术条款要求的（偏离）、配置不详、技术参数不清或缺漏项的，每处扣3分。

2．综合性能情况（15分）

（1）所投产品性能参数优于招标文件中技术条款要求情况（评委会认为超出指标有意义的）（5分）。其中优于项，每处加2分。

（2）所投产品的市场反馈情况（10分）。根据所投产品的品牌影响力、市场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况、使用投标产品发表的学术论文情况等综合评定。

（二）价格分（35分）

1．评标基准价：满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价，评标基准价为满分35分；

2．其他投标供应商的投标报价得分按照下列公式计算：投标报价得分＝（评标基准价／投标报价）×35分。

（三）综合商务（15分）

1．投标人综合实力（2分）

根据投标人综合实力评定。

2．售后服务与培训情况等（10分）

（1）质保期（3分）。符合招标文件要求的，得1分，每增加一年质保期加1分。

（2）服务、技术支持与培训承诺情况（7分）。

根据投标文件的相关承诺，在服务网点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。

3．其它（3分）

（1）投标文件质量（1分）。根据投标文件的规范性、完整性等情况综合评定。

（2）其它优惠措施等（2分）。根据投标人提供的在招标文件要求范围以外，评标委员会认可的优惠措施综合评定。

六、本次招标采用一次性报价。报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金（含美国产品被加征关税）、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。

七、投标文件的组成

（一）投标文件一

1、投标函

2、投标报价表

3、详细配置及分项报价清单

（二）投标文件二（文件中不得出现所投产品报价及配置分项报价，否则作废标处理）

1、投标基本情况一览表

2、详细配置清单、技术规格偏离表和投标仪器设备彩页

3、技术方案、服务承诺、培训承诺

4、资格证明文件

特别说明：

1、“投标文件一”和“投标文件二”应分别装订和密封，并加盖投标单位公章

2、“投标文件一”，正本一份，副本一份

“投标文件二”，正本一份，副本五份

3、相关材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行

八、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第21条中的要求执行。

九、招标文件价格：人民币800元（相关缴纳事宜详见附件3），售后不退。

十、各投标人在投标前，须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本招标公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在2021年7月20日12：00前将报名函（格式见附件4）发送邮件至采购人处（dingy@suda.edu.cn）；

十一、递交投标文件相关事宜：

（一）顺丰快递邮寄方式（建议优先采用）

1.寄达时间：2021年7月23日9：00前；

2.收件人信息：

收件人：丁悦

联系方式：13862165427

收件地址：江苏省苏州市东环路50号苏大东校区（采购与招投标管理中心）

（二）现场递交方式

1.递交时间：2021年7月23日8:30～9：00

2.递交地点：江苏省苏州市东环路50号苏州大学东校区东大门

十二、投标截止时间：2021年7月23日9：00。

十三、开标时间：2021年7月23日9：00。